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X20mini,壓電陶瓷mini線性位移臺,X軸掃描 外形緊湊,動力性能不折扣的壓電線性臺
Free3D.ZTxTy.150,壓電三軸并聯(lián)位移臺,三自由度,ZTT移動;由納米級驅(qū)動單元實現(xiàn)的三自由度并聯(lián)結(jié)構(gòu),有效降低累積誤差;多軸姿態(tài)同時調(diào)節(jié)、結(jié)構(gòu)穩(wěn)定、剛性高。
Free6D.3-2.150.G2,壓電六軸并聯(lián)位移臺,六自由度,兼容高真空;控制方式:各驅(qū)動單元模塊通過光柵位置反饋實現(xiàn)閉環(huán)控制;通過專用軟件,實現(xiàn)對六軸并聯(lián)運動的解算,分配到各驅(qū)動單元模塊,實現(xiàn)六軸空間姿態(tài)的同時調(diào)節(jié)。
Carrier.Lxxxx.XY,壓電載物臺,大行程高負(fù)載,兼容無磁高真空 “Carrier. 系列“ 大行程載物臺 — 精密光學(xué),半導(dǎo)體表征
Carrier.Sxxx.ZTxTy.C,壓電陶瓷偏轉(zhuǎn)臺,高負(fù)載通孔型,zTxTy方向;針對光學(xué)顯微鏡-超分辨定制化解決方案;?持無磁 (.NM) 和超高真空 (.UHV) 選件升級。