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ARTICLESFree3D.ZTxTy.150,壓電三軸并聯(lián)位移臺,三自由度,ZTT移動;由納米級驅(qū)動單元實(shí)現(xiàn)的三自由度并聯(lián)結(jié)構(gòu),有效降低累積誤差;多軸姿態(tài)同時調(diào)節(jié)、結(jié)構(gòu)穩(wěn)定、剛性高。
Free6D.3-2.150.G2,壓電六軸并聯(lián)位移臺,六自由度,兼容高真空;控制方式:各驅(qū)動單元模塊通過光柵位置反饋實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制;通過專用軟件,實(shí)現(xiàn)對六軸并聯(lián)運(yùn)動的解算,分配到各驅(qū)動單元模塊,實(shí)現(xiàn)六軸空間姿態(tài)的同時調(diào)節(jié)。