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簡要描述:Mirrors.Z12,壓電位移臺快反鏡,Z軸掃描,高速擺鏡;毫秒級運(yùn)動響應(yīng),高分辨率相位調(diào)節(jié)解決方案,高動態(tài)位置姿態(tài)定位,光路調(diào)節(jié)
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壓電移相器 Mirrors.Z12
? 毫秒級運(yùn)動響應(yīng),高分辨率相位調(diào)節(jié)解決方案
• Z掃描運(yùn)動12 um閉環(huán)行程;
• 閉環(huán)分辨率優(yōu)于 0.2 nm;
• ms級響應(yīng);
• 主體材料:不銹鋼;
• 最大負(fù)載:200 g;
• 閉環(huán)傳感器:SGS;
• 支持無磁 (.NM), 高真空 (.HV) 和超高真空 (.UHV) 選件升級;
壓電位移臺快反鏡,Z軸掃描,高速擺鏡——詳細(xì)參數(shù):
壓電位移臺快反鏡,Z軸掃描,高速擺鏡——尺寸圖:
多場科技Mirrors高速擺鏡系列實(shí)現(xiàn)單軸/雙軸/三軸全運(yùn)動行程,高動態(tài)鏡片運(yùn)動控制,閉環(huán)操作;支持多自由度運(yùn)動,支持無磁,高真空兼容版本;也提供大行程鏡片運(yùn)動控制
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